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桌面型小型蒸发镀膜仪，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作，出厂经过除气处理，配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境。真空腔体采用上掀盖开启方式，便于取放样，腔体上配置有带挡板的适应观察窗，用于观察镀膜过程，挡板则可以有效防止观察窗被膜料污染。
技术参数：
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产品名称 |
小型高真空双源热蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVZ254-II-HH-SS |
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样品台 |
尺寸 |
φ60mm |
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转速 |
1-20rpm可调 |
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至蒸发源间距 |
60mm~100mm可调 |
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蒸发系统 |
蒸发源 |
钨丝篮 |
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热电偶 |
S型热电偶 |
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*高温度 |
1800℃ |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
φ254mm×300mm |
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观察窗口 |
石英观察窗 φ80 |
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开启方式 |
上开启式 |
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腔体材料 |
不锈钢 |
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真空系统 |
产品型号 |
CY-GZK103-A |
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抽气接口 |
KF40 |
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分子泵 |
大阪60l/s |
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排气接口 |
KF16 |
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前极泵 |
旋片泵 |
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真空测量 |
复合真空计 |
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极限真空 |
1.0E-5Pa |
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抽气速率 |
分子泵：60L/S 旋片泵：1.1L/S 综合抽气性能：20分钟真空度可达： 1.0E-4Pa |
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其他 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
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整机功率 |
2kw |
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整机尺寸 |
600mm× 300mm× 470mm |
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整机重量 |
40kg |
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