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技术参数：
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产品名称 |
三靶等离子溅射镀膜仪（标准型） |
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产品型号 |
CY-PLZ180-III-DC-Q |
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样 品 台 |
尺寸 |
100mm |
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旋转速度 |
1~20rpm可调 |
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等离子溅射靶 |
数量 |
2英寸x3 |
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冷却方式 |
自然冷却 |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
φ180mm X 210mm |
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观察窗口 |
全向可视 |
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腔体材料 |
高纯石英 |
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开启方式 |
顶盖拆卸式 |
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上下盖材质 |
304不锈钢 |
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抽气接口 |
KF16 |
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进气接口 |
1/4英寸卡套接头 |
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电源配置 |
数量 |
直流电源x1 |
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输出功率 |
*大150W |
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溅射电源 |
1200V |
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*大溅射电流 |
50mA |
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真空系统 |
真空泵类型 |
双极旋片真空泵 |
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抽气接口 |
KF16 |
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排气接口 |
KF16 |
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抽气速率 |
1.1L/s（4m3/h） |
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极限真空度 |
≥1Pa |
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真空测量 |
电阻真空规 |
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其 他 |
供电电源 |
AC 220V 50Hz |
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整机功率 |
1.5kW |
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整机尺寸 |
500mm X 320mm X470mm |
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整机重量 |
30kg |
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